Grundlagen der Mikrotechnik

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Hat jemand Infos zur Klausur in diesem Semester? Tipps, Stoffeinschränkung oder ähnliches?
Gibt es für das WS 17/18 für die Prüfung Grundlagen der Mikrotechnik eine stoffeingrenzung oder Schwerpunkte? Vielen Dank im Voraus schon mal (:
Hey, Ja, Kapitel 2 und 6 kommen nicht dran ( Vakuumtechnik und Reinraumtechnik). Der Schwerpunkt liegt auf den verschiedenen Verfahren wie zB. Sputtern, Trockenätzen, Lithographie usw. Es hieß es werden keine Rechnungen oder so abgefragt sondern eher Verständnis.
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So, hier noch mal das neu hochgeladene Dokument, da man das alte teilweise nicht öffnen konnte.